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四探针电阻率/方阻测试仪

  • 产品型号:CE54-KDY-1
  • 产品报价:
  • 产品特点:CE54-KDY-1四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。
CE54-KDY-1四探针电阻率/方阻测试仪的详细资料:

CE54-KDY-1四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。

本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品:“小游移四探针头”,探针游移率在0.1~0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的z大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。

2、CE54-KDY-1四探针电阻率/方阻测试仪主机技术能数

1)测量范围:

       可测电阻率:0.000119000Ω·cm

       可测方块电阻:0.001190000Ω/□

2)恒流源:

         输出电流:DC  0.001100mA   五档连续可调

       量程:0.0010.01mA、0.010.10mA、0.101.0mA、1.010mA、10100mA

         恒流精度:各档均低于±0.05%

3)直流数字电压表:

       测量范围:0199.99mV

       灵敏度:10μV

       基本误差:±0.004%读数+0.01%满度)

       输入阻抗:1000

4)测量精度:电器精度:11000欧姆≤0.3%

         整机测量精度:11000欧姆·厘米≤3%

5)供电电源:

         AC220V±10%    50/60Hz    功率:12W

6)使用环境:温度:23±2   相对湿度:≤65%

         无较强的电场干扰,电源隔离滤波,无强光直接照射

备注:

等级测量时(测电阻率),精度<3%

电气测量时(测电阻),精度在0.3%以内 

 

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